3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器

      3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器系列產(chǎn)品超高精度可達0.0025um，是工業(yè)過濾凈化領(lǐng)域中精度超高的產(chǎn)品，本系列產(chǎn)品都是在十萬級無塵車間內(nèi)精密制造而成，具有高精度、耐高溫高壓的特性，主要應(yīng)用于食品、電子、科研、化工等領(lǐng)域。

產(chǎn)品性能參數(shù)    

產(chǎn)品特點

■應(yīng)用范圍廣，流量范圍從15到300SL/min。

■與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。

■3納米顆粒過濾能力保持高流量效率，超小壓降。

■5Ra電拋光表面可防止內(nèi)部污染。

■在去離子水清洗后用熱氮氣烘烤，以滿足半導(dǎo)體工藝標準。

■100萬級無塵無菌車間制造，清潔和包裝環(huán)境。

■測試100％氦泄漏。

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